青海省科技厅授予黄河公司新能源分公司实验室为省级重点实验室
11月9日,在青海省科学技术厅组织召开的2018年度创新平台、科研科普基地座谈会上,新能源分公司实验室被青海省科学技术厅纳入省级重点实验室管理序列,被授予"青海省新能源材料与技术重点实验室"称号。
新能源材料与技术重点实验室基于成熟硅分析检测标准对生产过程物料检测方法进一步开发验证,建立了一套硅材料生产过程质量检测标准体系,实现了集原辅材料、半成品硅烷类物料、产成品多晶硅检测全覆盖,为集成电路产品检测提供了质量数据,是企业硅材料技术研发、科技创新的核心组成。新能源材料与技术重点实验室建设将有利于解决我国高品质多晶硅材料完全依赖进口的局面,从而进一步保障新能源发展必需的高品质多晶硅基础材料供应。
黄河公司新能源分公司实验室严格按照SEMI标准设计,按照ISO4、ISO5、ISO8级标准建设了10个洁净检测室。拥有行业内洁净等级最高的ISO4级痕量分析室和ISO5级单晶制备、物理性质检测室,洁净室内配备美国GT Solar公司FZ-100悬浮区熔单晶炉;德国Bruker公司CryoSAS低温傅立叶变换红外光谱仪;美国安捷伦公司7500CS等离子质谱仪、气相色谱仪、气质联用仪;美国珀金埃尔默公司8300DV 等离子光谱仪;日本NAPSON公司少数载流子寿命测试仪、P/N型测试仪、电阻率检测仪等50多台(套)先进设备,其中悬浮区熔单晶炉和低温傅立叶变换红外光谱仪等核心检测设备属国内首台。实验室按照ISO/IEC17025标准要求建立了质量管理体系,是国内首家通过CNAS认可的硅材料检测实验室,是国家新材料检测技术联盟的创始单位之一。
实验室利用色谱-质谱联用仪分析半成品硅烷类物料、自产高纯气体等关键控制点产品品质,定性定量分析生产工艺关键点的有机化合物分布。利用电感耦合等离子体发射光谱对硅粉、中间产品三氯氢硅、高纯石墨部件等大宗原辅材料各金属杂质质量指标进行检测。采用国内首台低温红外检测仪检测硅材料中碳、氧及施受主族杂质,检测精度达1ppta;在ISO 4级洁净室内对电子级硅材料表面金属及基体金属检测,金属杂质检测能力能达到0.03ppbw,同时能实现对电子级包装袋等高纯洁净材料进行质量筛选和监督控制。
下一步实验室将不断建立健全运行管理机制,加大整合创新资源,凝练研究方向,加强技术攻关,不断加快人才引进和培养机制,努力改善实验研究条件,从而进一步提升省级重点实验室科研水平和科技创新能力。
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