欧姆龙开发出世界最小型气流传感器

2002-08-12 10:32:42 来源：

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电力18讯：日本欧姆龙公司最近开发出世界最小型的气体流动传感器。它能够检测出每秒流速仅为１毫米的气体，可以用来测定室内气流以及半导体制造装置散发的气体的速度和数量等。

该公司采用MEMS超精细加工技术，传感器的长和宽均为１．５５毫米，高为０．４毫米。与以往的最小产品相比，它的尺寸减小了２０％，而且在使用同样电力的情况下，测量精度可提高一倍。

该产品抗冲击性强，可以应用在加速传感器和倾向传感器当中。预计该产品年底即可上市.